【无锡冠亚】半导体控温解决方案主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备，⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。温度控制器Chiller 半导体低温冰水机
主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备，
⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。
半导体专温控设备
射流式⾼低温冲击测试机
半导体专用温控设备chiller
Chiller气体降温控温系统
Chiller直冷型
循环风控温装置
半导体⾼低温测试设备
电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源
射流式高低温冲击测试机
快速温变控温卡盘
数据中心液冷解决方案
| 型号 | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
| FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
| 温度范围 | 5℃～40℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 流量控制 | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 6bar max | 25～75L/min 6bar max | ||||
| 制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
| 内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷剂 | R410A | ||||||
| 载冷剂 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 （DI温度需要控制10℃以上） | ||||||
| 进出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷却水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量at20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| 电源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
| 温度扩展 | 通过增加电加热器，扩展-25℃～80℃ | ||||||
温度控制器Chiller 半导体低温冰水机
温度控制器Chiller 半导体低温冰水机
随着科技的发展，集成电路行业这个领域，准确的温度控制对于确保芯片的性能和可靠性有一定作用。为了满足这一需求，集成电路行业广泛使用了一种设备——光阻回刻刻蚀双通道chiller。
一、什么是光阻回刻刻蚀双通道chiller？
光阻回刻刻蚀双通道chiller是一种专门用于冷却的设备，广泛应用于各种需要准确温度控制的领域。在集成电路行业，光阻回刻刻蚀双通道chiller的主要作用是提供稳定的冷却水，以维持芯片制造过程中的温度恒定。
二、光阻回刻刻蚀双通道chiller的特点
1、高精度：集成电路行业用光阻回刻刻蚀双通道chiller具有高精度的温度控制能力，能够确保芯片制造过程中的温度波动变小。
2、高可靠性：由于集成电路对温度变化非常敏感，因此光阻回刻刻蚀双通道chiller需要具有高的可靠性，以确保生产过程中的稳定运行。
3、易于维护：为了满足生产线的连续运行需求，光阻回刻刻蚀双通道chiller应具备易于维护的特点，方便操作人员快速解决问题。
