【无锡冠亚】半导体控温解决方案主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备，⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。顶层介质刻蚀(chamber wall)单通道chiller
主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备，
⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。
半导体专温控设备
射流式⾼低温冲击测试机
半导体专用温控设备chiller
Chiller气体降温控温系统
Chiller直冷型
循环风控温装置
半导体⾼低温测试设备
电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源
射流式高低温冲击测试机
快速温变控温卡盘
数据中心液冷解决方案
| 型号 | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
| FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
| 温度范围 | 5℃～40℃ | ||||||
| 控温精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 流量控制 | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 6bar max | 25～75L/min 6bar max | ||||
| 制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
| 内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷剂 | R410A | ||||||
| 载冷剂 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 （DI温度需要控制10℃以上） | ||||||
| 进出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷却水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量at20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| 电源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
| 温度扩展 | 通过增加电加热器，扩展-25℃～80℃ | ||||||
顶层介质刻蚀(chamber wall)单通道chiller
顶层介质刻蚀(chamber wall)单通道chiller
为了确保侧墙刻蚀单通道chiller的正常运行和使用寿命，定期维护和保养是不可少的。这包括检查冷凝器、散热器和管道是否有堵塞或泄漏，检查泵和压缩机的运行状况，以及更换过滤器等易损件。此外，定期清洗设备内部和外部，确保设备清洁也是保养的重要内容。
4、防止过载和短路
侧墙刻蚀单通道chiller在运行过程中，如果电流过大或负载过重，可能会导致设备过载或短路。因此，在使用过程中，要注意避免过度加载设备，同时也要避免设备受到电击或短路的影响。如果发现设备有异常情况，要及时停机检查并修复。
5、注意安全操作
侧墙刻蚀单通道chiller在操作过程中要注意安全。要确保设备的接地良好，避免触电风险。其次，在操作过程中要佩戴相应的防护用具，如手套、眼镜等。此外，对于不熟悉设备操作的人员，要进行培训和学习，确保掌握正确的操作方法。
为了确保其正常运行和使用寿命，需要注意保持侧墙刻蚀单通道chiller清洁、正确使用和操作、定期维护和保养、防止过载和短路以及注意安全操作等方面的事项。
