涡轮分子泵组
Hicube真空泵组产品优点：
1. 涡轮分子泵和前级泵的结合，适合多种应用需求
2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求
3. 各部件配合简便，易于保养维修
4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统
5.“即插即用”-无需布线和安装
6. 结构坚固，服务寿命长，可靠性高
7. 意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响
8. 可以直接连接真空计
Hicube 真空泵组应用领域：
1.研发 2. 加速器 3. 分析和表面物理学 4. 真空工艺 5. 电子束焊接 6. 检漏系统
Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准：系列的 HiPace 涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列结合。我们为您提供的 Classic 和 Pro 系列的 Hicube 真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵，极限真空度可达 5×10-10mbar。针对特别有限的空间要求，Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 Hicube Eco 经济型泵组，其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。
Hicube Eco 系列
泵组尺寸
Hicube Classic 系列
灵活搭配
Hicube Pro 系列
灵活搭配
