产品简介
产品信息:泵头级数：三级四泵头抽速≥1.3m3/h极限真空度≤2mbar标配气镇阀
产品信息:
泵头级数：三级四泵头
抽速 ≥1.3 m
3/h
极限真空度 ≤2 mbar
标配气镇阀，使用气镇时的极限真空度 ≤4 mbar
进/出气口接口 10mm
产品特点：
高耐受化学腐蚀，隔膜材质PTFE涂层，进/出气阀门为FFKM橡胶、所有气体管路均为PTFE
夹层结构隔膜、泵腔盖和隔膜夹紧盘具有金属内芯，外覆ETFE和碳纤维增强材质
通过欧盟ATEX防爆认证设备分类3设备，内部环境满足ATEX: II 3G IIC T3 X 标准。
