简单介绍: 迷你石墨烯CVD设备专为石墨烯生产设计配有高精度质量流量计以及薄膜真空规。迷你石墨烯CVD设备同时设备配有可燃气体检测装置,联动出气口电磁阀,一旦出现泄漏电磁阀即可自行关闭保证安全。
迷你石墨烯CVD设备
本套CVD系统专为石墨烯生产设计,采用1200℃迷你管式炉,配有高精度质量流量计以及薄膜真空规。相比于常规的皮拉尼电阻规,薄膜规的读数**,不受气体种类影响,十分适合真空镀膜工艺。同时设备配有可燃气体检测装置,联动出气口电磁阀,一旦出现泄漏电磁阀即可自行关闭保证安全。
该套设备功能**占地面积较小,十分适合实验室规模的CVD制备。
特点
1.高精度质量流量计以及薄膜真空规。
2.可燃气体检测装置,联动出气口电磁阀。
3.体积小巧
4.专为石墨烯生产设计
技术参数
1200℃迷你管式炉 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
功率 | 2KW max | |
加热温区 | 单温区200mm | |
恒温区长 | 100mm | |
加热元件 | 耐热合金丝 | |
热电偶 | K型 | |
工作温度 | ≤1150℃ | |
升温速率 | 建议≤10℃/min | |
控温精度 | ±1℃ | |
控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线,带有过热和断偶保护 | |
炉管材质 | 高纯石英 | |
炉管尺寸 | φ50mm O.D x 450mm L | |
真空泵 | 机械泵 抽速1.1L/s | |
极限真空 | 5Pa |
三路浮子流量计 | 阀门类型 | 不锈钢针阀 |
气路数量 | 三路 | |
承压范围 | 0.05~0.3MPa | |
量程 | Ar 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm | |
流量控制范围 | ±1.5% | |
混气罐容积 | 750mL | |
气路材料 | 304不锈钢 | |
管道接口 | 6.35mm卡套接头 | |
供电电源 | AC220V 50Hz |