洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试 洁净度检测 GB50472-2008 电子厂房设计规范同GB50073-2013洁净厂房设计规范洁净度的测试方法一致，采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内，并应位于工作区的高度，活动高度宜距离地面0.8每个采样点的最小采样时间为1min.每一采样点的每次采样量应至少为2L，采样量应按下式计算：
洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试 GB50472-2008 电子厂房设计规范同GB50073-2013洁净厂房设计规范洁净度的测试方法一致
洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试洁净度的检测，应符合下列规定：
1、应使用采样量大于1L／min光学粒子计数器（激光尘埃粒子计数器），应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。
2、最少采样点应按下式计算：
NL＝√A
式中NL——最少采样点；
A——洁净室或被控洁净区的面积(㎡)。
3、采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内，并应位于工作区的高度，活动高度宜距离地面0.8m;每个采样点的最小采样时间为1min.
4、每一采样点的每次采样量应至少为2L，采样量应按下式计算：
Vs={20/ Cn.m}×1000
式中：Vs——每个采样点的每次采样量，以L表示；当Vs很大时，可使用顺序采样法；
Cn.m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m3)；
20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测到的粒子颗数(pc)。
5 、当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。
洁净室检测-电子厂洁净度尘埃粒子测试 判定参考表格
GB50073-2013洁净厂房设计规范 | |||||||
空气洁净等级（N） | 最高浓度极限（颗粒数/m3） | 近似对应传统规格 | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1.0μm | 5.0μm | ||
1 | 10b | 2 | |||||
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | 10 | |
5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 100 |
6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 1,000 |
7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | 10,000 | |||
8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 100,000 | |||
9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | ||||
