BX53M-IR 近红外线显微镜
能观察IC内部的近红外线（IR）观察专用型号（透反射/反射）
● 近红外外透射反射观察用显微镜
● 5X到10X红外镜头,像差校正本涵盖从可见光到近红外整个波段
● 晶圆，化合物半导体的内部，封装芯片内部以及CSP bump观察适宜
主要特点：
1.UIS无限远校正光学系统，提供出色的图像质量
2.人机工程学的进一步改善，使操作更为舒适
3.多种高度功能化的附件，能满足各种检验需要
物镜 | 倍率 | 数值孔径 | 工作距离（mm） | 硅片厚度 | 分辨率（um） |
LMPLN-IR | 5X | 0.1 | 23 | -- | 6.71 |
10X | 0.3 | 18 | -- | 2.24 | |
LCPLN-IR | 20X | 0.45 | 8.3 | 0-1.2 | 1.49 |
50X | 0.65 | 4.5 | 0-1.2 | 1.03 | |
100X | 0.85 | 1.2 | 0-1 | 0.79 |
