CTI-Cryogencis On-Board 低温真空泵加速集成和改进的系统操作在可靠性和性能方面已达到世界标准. On-Board 低温泵配有完整的集成控制和外围附件支持, 提供了更长的运行时间, 以提高工具的整体生产效率, 从而增加了整体设备的产能和持续性能.CTI-Cryogencis On-Board 低温泵主要特性:1. 快速 Regen 功能, 可在再生间......
CTI On-board 低温泵技术参数:
On-Board 低温泵型号 | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
抽速 (L/S) | ||||||||
水汽 | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
空气 | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 |
| 2,200 | 6,000 | 10,000 |
氢 | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 |
| 3,200 | 12,000 | 12,000 |
氩 | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 |
| 1,800 | 5,000 | 8,400 |
容量（标准升） | ||||||||
氩 | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 |
| 1,000 | 2,500 | 6,000 |
氢 (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
常规再生时间（冷态至冷态） | ||||||||
级和第二级 | 75 分钟 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | <3.3 小时 | 3 小时 | <3.8 小时 |
第二级 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1.5 小时 | <1.5 小时 |
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