高温超纳米压痕测试仪 (UNHT3 HTV)
真正意义的商品化的高温高真空超纳米压痕仪,主要测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统,温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。 UNHT3 技术与*的加热功能结合,可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。
主要特点 新一代的高温纳米压痕测试仪
技术指标
载荷 | |
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zei大载荷 | 100 mN |
载荷分辨率 | 6 nN |
本底噪音 | 0.5 [rms] [μN]* |
位移 | |
zei大位移 | 100 μm |
位移分辨率 | 0.006 nm |
本底噪音 | 0.15 [rms] [nm]* |
极限真空度 | 10? mBar |
zei高温度 | 800 °C |