简单介绍： 该三温区1600 CVD系统主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜 各种材料煅烧、需要温度梯度的各种CVD实验
| 加热温度 | 三温区 独立控温 | 密封方式 | 水冷式真空法兰 |
| 温区长度 | L:190mm;M:250mm;R:190mm; | 真空系统 | 防返油式双极旋片泵 |
| 工作温度 | L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃; | 系统真空 | 5～10Pa（如需更高真空度可选配其它泵） |
| 加热炉管 | 高纯刚玉外径60mm，长度1300mm | 制冷方式 | 9L水冷机 |
| 气体通道 | 三通道质量流量计 | 控温系统 | 多段可编程智能控温，控温精度±1℃ |
| 气体量程 | A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM | 供电电源 | AC:220V 50Hz |
| 真空检测 | 进口数字真空计 | 备 注 | 如有其它要求 可按要求定制 |
