在真空镀膜设备高真空环境中，存在一定的残余气体，其中80% 以上是水蒸气、油蒸汽以及其他不凝性气体，真空泵在达到极限真空 时，抽空能力和抽空速度下降；BC系列水汽捕集泵可使粗真空抽速由 约30分钟缩短一半时间。而在-120℃水的饱和蒸汽压为10-5pa所以可 作为冷凝泵而大量捕集水蒸气，大大提高真空镀膜设备的抽速，节约 能源提高产品的产、质量。广泛应用于真空镀膜、*、航天、医疗 设备、医药制造等
1.1 真空系统內之残留气体
根据干流气体分析仪检测得知, 一般的真空系统在中高真
空环境下, .60~95%的残留气体为水汽H2O, 是以排除残留
的水气是一般的真空系统到达高真空的必要工作.
1.2 在不同真空度下,水蒸汽能被冷凝盘管表面吸附所需的溫度
水蒸汽分压力
冷凝盘管平均溫度
Torr
Pascal
mbar
℃
1X100
1X102
1X100
-40.8
5X10-1
7X101
7X10-1
-46.8
2X10-1
3X101
3X10-1
-54.3
1X10-1
1X101
1X10-1
-59.7
5X10-2
7X100
7X10-2
-64.8
2X10-2
3X100
3X10-2
-71.2
1X10-2
1X100
1X10-2
-75.8
5X10-3
7X10-1
7X10-3
-80.1
2X10-3
3X10-1
3X10-3
-85.6
1X10-3
1X10-1
1X10-3
-89.6
5X10-4
7X10-2
7X10-4
-93.4
2X10-4
3X10-2
3X10-4
-98.2
1X10-4
1X10-2
1X10-4
-101.6
5X10-5
7X10-3
7X10-5
-104.9
2X10-5
3X10-3
3X10-5
-109.1
1X10-5
1X10-3
1X10-5
-112.2
5X10-6
7X10-4
7X10-6
-115.1
2X10-6
3X10-4
3X10-6
-118.1
1X10-6
1X10-4
1X10-6
-121.5
5X10-7
7X10-5
7X10-7
-124.1
2X10-7
3X10-5
3X10-7
-127.5
1X10-7
1X10-5
1X10-7
-129.9
5X10-8
7X10-6
7X10-8
-132.2
2X10-8
3X10-6
3X10-8
-135.2
1X10-8
1X10-6
1X10-8
-137.3
5X10-9
7X10-7
7X10-9
-139.5
2X10-9
3X10-7
3X10-9
-142.1
1X10-9
1X10-7
1X10-9
-144.1
一般的冷冻机, 溫度无法达到-100℃以下. 海菱利用单
机压缩自动复叠原理，超低温混合冷媒, 从而达到超低温的
能力
