软X射线分析谱仪通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了*的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV（费米边处Al-L基准）的*能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
软X射线分析谱仪
通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了*的能量分辨率。
和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的*能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
系统简介
新开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图
SXES、WDS、EDS的比较
各种分光方法中氮化钛样品的谱图
即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。
软X射线分析谱仪比较表
特征 SXES EPMA(WDS) EDS
分辨率 0.3 eV
(费米边处 Al-L) 8 eV (FWHM@Fe-K） 120-130 eV
(FWHM@Mn-K）
化学结合状态分析 可以 可以(主要是轻元素) 不可以
并行检测 可以 不可以
(但分光谱仪台数范围即可) 可以
分光晶体和检测器 衍射光栅＋CCD 分光晶体＋正比计数管 SDD
检测器冷却 珀尔帖冷却 不需要 珀尔帖冷却
检测限(以B作為參考值) 20ppm 100ppm 5000ppm
锂离子二次电池（LIB）分析实例
能观察到LIB的充电量
轻元素的测试实例
SXES测试碳素化合物的实例
可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。
各种氮素化合物的测试实例
氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形*不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的*波形。
