净化室空风机过滤器机组（FFU）送风方案 FFU 布置在洁净室的吊顶上，与新风混合的循环风经 FFU 被高效过滤器过滤后送到洁净室内，以保证洁净室的洁净度。
洁净室空调机组（AHU）加风机过滤器机组（FFU）送风方案
空调机组 AHU(MAU）加风机过滤器机组（FFU）的净化空调送风方案此方案中净化空调系统的全部热、湿负荷（洁净室内产生的热、湿负荷及新风的热、湿负荷）全部由设在空调机房内的空调机组来负担。此时，空调机组的送风量是消除本系统余热、余湿的空调送风量（其中包括全部新风和部分回风，但远远小于保证洁净室洁净度等级的净化送风量），它应能确保洁净室内的温度和相对湿度的恒定。而该洁净室的洁净度由设在洁净室吊顶上的风机过滤器机组（FFU）将净化送风量就地循环过滤来保证。此方案中应该注意的是，FFU 运行过程中所产生的热量也应由空调机组来承担。此方案更适合用于在大面积非单向流洁净室内有局部的垂直单向流的混合流洁净室中。
FFU 布置在洁净室的吊顶上，与新风混合的循环风经 FFU 被高效过滤器过滤后送到洁净室内，以保证洁净室的洁净度。 FFU 的风机风量应可调，高效过滤器应可更换。
此方案中，洁净室的相对湿度由新风机组（MAU）来保证，洁净室的温度由干冷盘管来保证，洁净室的洁净度由 FFU 来保证。这种 MAU 加 FFU 加 DC 的净化空调送风方案，目前在我国和外国的微电子（集成电路）工业、光电子（TFT-LCD、LCD、LED 等）工业等大面积、高洁净度等级的洁净厂房中得以广泛应用，它具有调节方便，节能显著，适应工艺的更新换代，又大大地节省了非生产面积和非生产空间的优点。而且，随着洁净技术和洁净设备的不断发展和进步，FFU 风机的效率不断提高，耗电量不断降低,整体价格不断下降，其初投资也与其他类型的送风方案基本持平,但运行费却大大节省。
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