纯蒸汽通常是以纯化水为原料水， 通过纯蒸汽发生器产生的蒸汽，纯蒸汽冷凝时要满足注射用水的要求。软化水、去离子水和纯化水都可以作为的原料水，经蒸发，分离（去除微粒及细菌内毒素等污染物）后，在一定压力下输送到使用点。
通常是由一个蒸发器、分离装置、预热器、取样冷凝器、阀门、仪表和控制部分等组成。设备取样器，用于在线检测纯蒸汽的质量，其检验标准是纯蒸汽冷凝水是是
原料水通过泵进入蒸发器管程与进入壳程的工业蒸汽时行换热，原料水蒸发后通过分离器进行三级分离（重力分离、折返分离、螺旋分离）变成纯蒸汽，由纯蒸汽出口输送到使用点。纯蒸汽在使用之前要进行取样和在线检测，并在要求压力值范围内输送到使用点。纯蒸汽可用于温热灭菌和其它工艺，设备和管道的消毒。其冷凝物直接与设备或物品表面接触，或者接触到用以分析物品性质的物料。纯蒸汽还用于洁净厂房的空气加湿，在这些区域内相关物料直接暴露在相应净等级的空气中。
